按照種類可以分為接觸式、接近式和投影式多種,而高端的投影式光刻機又可分為步進投影和掃描投影光刻機兩種,分辨率通常七納米至幾微米之間,高端光刻機號稱世界上最精密的儀器,最先進的光刻機售價都是用億美元為單位的。
而且受製於歐美國家的技術封鎖,中國就算是拿著錢也買不到,就算想盡辦法克服困難預定上一兩台,往往還是技術落後的產品,而且在交貨的過程中還經常會因為莫名其妙的失火等原因延遲或者取消交貨。
國內倒是也有廠家在進行光刻機的研發製造,但技術相對阿斯麥等歐美頂尖公司,還有不小的差距,國外已經達到四納米的加工水平,國內拿出來的最新產品,加工精度才只有二十二納米而已,完全無法滿足需求。
“這份設計圖紙所采取的模式和阿斯麥、尼康、佳能的都不一樣,和我們現在研發的也不一樣,雖然目前看來理論上似乎可行,可要想吃透這種模式就要花相當長的時間!就更不用說生產出樣品。”
一台光刻機內部超過了8萬個零件,重量為180噸,而光刻機的零件也並非一個國家就全部製作的,因為它們有的是日本的光學技術,有的是德國的機械技術;所以阿斯麥曾經放出話來,就算把設計圖紙拿給你們,你們也製造不出來。
因為按照目前的技術水平,想要製造出一台先進的光刻機,就必須使用多個國家最先進的技術產品,阿斯麥的鏡頭就采用的是德國蔡司的產品;這些歐美企業倒也罷了,中國企業想要購買這些產品,可不是一般的難。
“不管怎麽說,這些資料也給我們指明了一條全新的道路,只要能把這些東西吃透,我們就不會被歐美國家卡住脖子了!”或許是知道可控核聚變和昆式戰機項目的原因,領導倒是對這份圖紙顯得信心滿滿。
“如果能吃透,那我們就能實現光刻機制造的百分百國產化了,我看到這裡面所使用的元件也和阿斯麥、尼康、佳能的都不一樣,不存在專利障礙的問題,現在要擔心的就是我們的精密加工水平能不能達到標準了!”專家點頭道,的確,想要按照這份圖紙製造出性能優越的光刻機來非常不容易,可有了這份圖紙,絕對能少走許多彎路。
“那個零件有疑問,就把疑問寫出來,應該能得到滿意的答覆!”人家連微型可控核聚變反應堆都能製造出來,製造這些零件肯定不是問題,哎,真是可惜了,要是他能像提供微型可控核聚變反應堆的樣品一樣,也給我們提供一台光刻機的樣品就好了。
不知道在郵件裡問下他,他會不會答應啊?光刻機就算再先進,想必也沒有微型可控核聚變反應堆更難製造吧?領導在心裡琢磨著,不過他暫時還不打算把這個意思在郵件裡寫出來,按照以前的情況來看,如果有的話,人家說不定就直接給了,既然人家沒給,那就不要多問的好,免得人家說咱們貪心不足。
幾位專家湊到一起商量一番,最終達成一致,“還是先從大的方面來說吧,理論方面我們還有不少疑問呢,理論不搞清楚,細節就更是無從談起了!”
“專業上面的工作由你們負責,你們先討論討論,把最緊要的問題都羅列出來吧!”領導給他們安排了會議室,他們需要什麽設備也都送了進來,讓他們可以心無旁騖地工作。
經過一天一夜的討論,這些專家拿出了第一批問題,然後領導把這些問題發給了沈隆,沈隆看過之後略微有些驚訝,“不錯啊,既然能提出這樣的問題,這說明國家對光刻機的研究已經有了堅實的基礎,這樣看來,搞不懂第一台樣機生產出來的時間比我預想的還要早。”
沈隆雙手十指交叉,活動活動手指,然後劈裡啪啦就開始打字,一個接一個的回復起這些專家的疑問來,通過這些問題,他也知道了這些專家的水平,在回答問題的時候就知道該講到什麽程度了。
僅僅花了半小時時間,沈隆就把所有問題回答完畢,打字的鍵盤都已經開始冒煙了,沒辦法,沈隆打字的速度實在是太快了。
然後仔細檢查一番,沈隆就把郵件給他們發了過去,有白澤幫忙遮掩,沈隆壓根就不怕有人能順著郵件找到自己。
那些專家提完問題就去睡覺去了,在他們看來自己羅列出來的這些問題回復難度極大,就算對方非常熟悉這一領域,也得好幾天時間才能回答完畢, 然而沒想到的是,才過了不到一個小時,對方的回復就過來了。
原本忙了一天一夜已經很疲倦了,可一看到這份郵件,他們馬上就不困了,紛紛圍在電腦前,一字一句地研究著回復,嘴裡是不是發出驚歎,“原來是這樣,我怎麽就沒想到呢,還能用這樣的辦法來解決?”
“這個結論很有新意啊,不管是阿斯麥還是尼康,都沒有涉足這一領域,這回可以搶在他們前面了!”
“懂了懂了,采取這種方式,的確可以大大提升良品率,這可比阿斯麥的最新產品還要厲害啊!”
“這種紫外光源的確更加穩定,能量分布更加均勻,而且容錯率更高,對生產操作的要求更低,真是厲害啊。”
就這樣,專家們日以繼夜的研究著郵件,研究之後一邊進行試驗一邊提出新的問題,而沈隆這邊則和之前一樣,以每星期一封郵件的速度和他們交流著。
大概來回發了三次郵件,沈隆的腦海裡再次響起了系統的提示音,又有新的任務找上他了。